MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內(nèi)，就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。

優(yōu)勢介紹：一秒一片!可集成在生產(chǎn)線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試，在不到一秒內(nèi)就能形成單個硅片的二維圖像。

該儀器本身不使用機械運動部件，因此在連續(xù)操作下也非?？煽?。它為每個晶圓片提供完整的拓撲結構，這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為止無可比擬的。例如，在不到3個小時的時間內(nèi)，對10000個晶圓片的拓撲結構進行自動統(tǒng)計評估，結果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質(zhì)量的各種細節(jié)。

實時的質(zhì)量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產(chǎn)過程中，MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障，從而使產(chǎn)品達到的性能。

優(yōu)勢介紹

◆ 在不到一秒的時間內(nèi)，可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數(shù)：載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線掃描)。

◆在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。

◆適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識別晶圓片層面的結晶問題，例如在光伏行業(yè)。

◆適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術參數(shù)

其它細節(jié)

· 允許單片控制

· 參數(shù)自動設置，預定義的排序菜單

· 多達15個質(zhì)量等級的晶圓片自動分揀

· 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

· 快速提升工藝和生產(chǎn)線