DWL2000/ DWL4000

高靈活度與高精度光刻的解決方案

High Resolution Pattern Generators

高靈活度與高精度光刻的解決方案

DWL2000和DWL4000 激光光刻系統(tǒng)是快速及高靈活性的高分辨率圖型發(fā)生器，用于制作掩膜版和可直接于產品上進行激光直寫，

寫入面積高達200x200 mm2,與400x400 mm2 。在二維曝光技術表現*，*低分辨率為500nm，可選配自動加載系統(tǒng)，

除了高分辨率的二維圖型之外，還提供灰度曝光模式，可在厚光刻膠中創(chuàng)建復雜的2.5D結構。

產業(yè)應用：MEMS、BioMEMS，微光學、集成電路(ASIC)、微流體、傳感器。

關于我們 - Stella International

Stella International攜手光刻技術領航者-海德堡儀器公司，共同為客戶帶來*的綜合應用效能，同時建立緊密的合作伙伴關系。

為了服務客戶更廣泛多元的應用領域，Stella International于 2016年在蘇州成立海德堡儀器演示中心，以海德堡原廠伙伴技術支援，提供客戶技術交流平臺以及各式前段打樣的基礎研究，

這些年來已服務許多的國內大學，研究所與企業(yè)前期研發(fā)單位。

介紹

德國海德堡 高精密無掩膜激光直寫設備
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德國海德堡設備(Heidelberg Instruments)，創(chuàng)始于1984年，在激光直寫設備的發(fā)展和設計上，一直是*的。多年以來，系統(tǒng)設備持續(xù)地改良、在各種應用上客制化。

應用范圍包括：微電腦和納米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相關領域。

銷售橫跨歐洲、美國、亞洲等過50幾個*、700個以上銷售據點，用于研發(fā)、快速原型制作和工業(yè)生產系統(tǒng)，是企業(yè)研究和發(fā)展的*伙伴。