壓電千分尺是指在手調千分尺的基礎上集成壓電定位運動平臺， 手調千分尺可進行 13mm 行程的宏觀調節(jié)，壓電運動平臺可進行 25μm 或 100μm 行程的納米級微觀調節(jié)，且千分尺的調節(jié)精度在壓電運動平臺的調節(jié)范圍內，從而保證調節(jié)的便捷及精度。

特性：

    ? X 向運動，1~3維自由組合 

    ? 手調千分尺行程 13mm，分辨率達 10μm 

    ? 壓電精調行程 100μm，分辨率達 2.5nm

    ? 壓電調節(jié)可選配應變傳感器

注：壓電驅動的標稱行程是在 0~120V 的驅動電壓下的位移行程，Max.驅動電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在

0~120V。