產(chǎn)品名稱：BRONKHORST氣體流量計(jì)FF-M1x

產(chǎn)品型號(hào)：FF-M1x

產(chǎn)品介紹

FLEXI-FLOW緊湊型FF-M10和FF-M11緊湊型質(zhì)量流量/壓力計(jì)適用于在真空和17 bar（a）之間的工作壓力下測(cè)量0…500 ml_n/min和0…20 l_n/min之間的流量范圍。該儀器結(jié)合了基于毛細(xì)管MEMS技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器和準(zhǔn)確可靠的旁路結(jié)構(gòu)。由于的TCS技術(shù)（通過(guò)芯片傳感器），建立了與溫度和管路壓力變化無(wú)關(guān)的準(zhǔn)確質(zhì)量流量測(cè)量。結(jié)合集成的溫度和上下游壓力傳感器，22種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫(kù)可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的車(chē)載轉(zhuǎn)換。多參數(shù)儀表為用戶提供有用的過(guò)程信息：

-型號(hào)FF-M10：流量+溫度

-型號(hào)FF-M11：流量+溫度+上下游壓力

性能特點(diǎn)

l 緊湊型氣體質(zhì)量流量和壓力表

l 集成氣體轉(zhuǎn)換模塊

l 22種氣體嵌入

l 多參數(shù)輸出：質(zhì)量流量、溫度和壓力

l USB-C和藍(lán)牙通信

l Namur NE107狀態(tài)指示

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：荷蘭

流量范圍（可用的中間范圍）：min.0…500 ml_n/min

Max.0…20 l_n/min（基于N2）

壓力范圍：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）

精度（包括線性度）（基于實(shí)際校準(zhǔn)）：高達(dá)±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空氣/O2）；

對(duì)于其他氣體，增加轉(zhuǎn)換不確定性；

重復(fù)性

流量傳感器：<±0,2%Rd；

壓力傳感器：<±0,2%FS

減速比：高達(dá)1:1000

工作壓力：max.16 bar g

22種氣體以及這些氣體的任何混合物的多氣體/多量程嵌入式氣體數(shù)據(jù)

響應(yīng)時(shí)間（傳感器）：<30 ms（T63）

3年內(nèi)長(zhǎng)期穩(wěn)定性：<0,5%FS；每年<0,2%FS

安裝：任何位置，姿態(tài)靈敏度可忽略不計(jì)

溫度傳感器靈敏度：zero 00015%FS/oC；span 0,03%Rd/oC；

壓力傳感器靈敏度：zero 0,16 mbar/oC；span 0,05%Rd/oC

溫度精度：±0,2oC（儀器本體溫度）

壓力傳感器精度：±0,5%FS

壓力敏感度（標(biāo)準(zhǔn)）：<0,15%Rd/bar，典型N2；

壓力校正：<0.02%Rd，典型N2

泄漏完整性，外側(cè)測(cè)試：<2 x 10^-9 mbar l/s He

機(jī)械部分

儀表本體：鋁或不銹鋼（可選）

材料（接液部件）：鋁、不銹鋼、氮化硅、環(huán)氧樹(shù)脂、氧化鋁、玻璃

表面質(zhì)量：<1.6μRa（不銹鋼閥體<0.8μRa）

壓力等級(jí)（PN）：16 bar（g）/250 psig

工藝連接可選：壓縮式、推入式或端面密封聯(lián)軸器

密封件默認(rèn)值：FKM 51415；

其他材料：請(qǐng)聯(lián)系工廠

重量：200 g，鋁閥體，300 g，不銹鋼316閥體

防護(hù)等級(jí)：IP40

電氣特性

電源：24 Vdc±10%

功耗：max.0,35 W

數(shù)字通信：Modbus RTU或FLOW-BUS（可選）

支持USB-C接口，便于設(shè)置；

用于監(jiān)控的可選藍(lán)牙連接

電氣連接：9針D-sub（公頭）